Numuneler manuel konumlandırma tablası ile ya da motorlu numune tablası ile otomatik olarak konumlandırılabilir. Her motorlu tabla, konumun kolay kontrolü için bir kontrol joystick’i içerir. Motorlu bir numune tablasının kullanılması, birden fazla ayrı taramayı birleştiren yazılım kontrollü görüntü birleştirmeye olanak tanır, böylece daha geniş yüzey alanları görselleştirilebilir ve analiz edilebilir.
Mikroskop Objektifleri
SPA 25, Mirau interferometre mikroskop objektiflerini kullanır. Bu objektifler, X-Y boyutundaki çözünürlüğü etkileyen farklı büyütme faktörleri ile mevcuttur. Beyaz ışık interferometri ölçüm tekniğinin kullanılması nedeniyle Z boyutundaki çözünürlüğün büyütme faktöründen bağımsız olduğunu unutmayın.